অর্ধপরিবাহী বা তরল স্ফটিক প্রদর্শন উত্পাদন ক্ষেত্রে, সাম্প্রতিক বছরগুলিতে ডিভাইস ইন্টিগ্রেশন বৃদ্ধি পেয়েছে। খুব বড় আকারের ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট নামে একটি ডিভাইস তৈরিতে, 1 মাইক্রন বা তার কম সূক্ষ্ম প্যাটার্ন প্রয়োজন। এই জাতীয় উত্পাদন প্রক্রিয়াতে, সূক্ষ্ম ধুলো বা খুব অল্প পরিমাণে গ্যাসের অমেধ্যগুলি তারের প্যাটার্নে জমা বা শোষণ করা হয়, যার ফলে সার্কিট ব্যর্থ হয়। অতএব, এটি প্রয়োজন যে উচ্চ বিশুদ্ধতা সহ প্রতিক্রিয়া গ্যাস এবং ক্যারিয়ার গ্যাস উভয়ই, এই গ্যাসগুলিতে কেবলমাত্র কয়েকটি কণা এবং গ্যাসের অমেধ্য বিদ্যমান থাকতে পারে। এই কারণে, একটি স্টেইনলেস স্টিল কৈশিক নল বা সদস্যের জন্য উচ্চ বিশুদ্ধতা সহ এই ধরনের গ্যাস ব্যবহার করা প্রয়োজন, এবং এর অভ্যন্তরীণ পৃষ্ঠটি দূষক নির্গত করার জন্য দূষক হিসাবে ব্যবহৃত হয়, যেখানে শুধুমাত্র ন্যূনতম পরিমাণ কণা এবং গ্যাস থাকে। নাইট্রোজেন এবং আর্গনের মতো নিষ্ক্রিয় গ্যাস ছাড়াও, বিশেষ গ্যাস নামক অনেক গ্যাসও সেমিকন্ডাক্টর তৈরিতে গ্যাস হিসেবে ব্যবহৃত হয়। বিশেষ গ্যাসের উদাহরণগুলির মধ্যে রয়েছে ক্ষয়কারী গ্যাস যেমন ক্লোরিন, হাইড্রোজেন ক্লোরাইড এবং হাইড্রোজেন ব্রোমাইড এবং রাসায়নিকভাবে অস্থির গ্যাস যেমন সাইলেজ। আগেরটির গ্যাস জারা প্রতিরোধের প্রয়োজন, যখন পরেরটির জন্য অ-অনুঘটকীয় কর্মক্ষমতা প্রয়োজন।
এ পর্যন্ত, ধুলো বা জলের জমা বা শোষণ হ্রাস করার জন্য, অর্ধপরিবাহী গ্যাস তৈরিতে ব্যবহৃত অংশের অভ্যন্তরীণ পৃষ্ঠটি মসৃণ করা হয়েছে যতক্ষণ না এর Rmax পৃষ্ঠের রুক্ষতা 1 মাইক্রন বা তার কম হয়। ঠান্ডা অঙ্কন, যান্ত্রিক মসৃণতা, রাসায়নিক মসৃণতা, মসৃণকরণ বা এর সংমিশ্রণটি পাইপের অভ্যন্তরীণ পৃষ্ঠ বা অংশগুলিকে মসৃণ করার পদ্ধতি হিসাবে ব্যবহার করা যেতে পারে। যাইহোক, 1 মাইক্রন বা তার কম মূল্যের একটি অত্যন্ত মসৃণ উপাদান প্রধানত ইলেক্ট্রোলাইটিক পলিশিং দ্বারা প্রাপ্ত হয়। পাইপ বা অনুরূপ অভ্যন্তরীণ পৃষ্ঠ মসৃণ করা হয়, তারপর উচ্চ বিশুদ্ধতা জল দিয়ে পরিষ্কার করা হয় এবং চূড়ান্ত পণ্য পেতে উচ্চ বিশুদ্ধতা গ্যাস দিয়ে শুকানো হয়।
Welালাই করার সময় সাধারণত dingালাই ব্যবহার করা হয়। এর কারণ হল welালাই পাইপলাইনের উচ্চ শক্তি এবং ভাল বায়ু দৃness়তা নিশ্চিত করতে পারে। পাইপলাইন স্থাপনের সময়, উচ্চ বিশুদ্ধতা নিষ্ক্রিয় গ্যাস, সাধারণত আর্গন, একটি প্রতিরক্ষামূলক গ্যাস হিসাবে ব্যবহার করা হয়, এবং তার অভ্যন্তরীণ পৃষ্ঠটি উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্যাসের সাথে পাইপলাইনের মাধ্যমে যোগাযোগ করা হয় যাতে দূষণ এবং অক্সিডেশনের একটি অংশ গরম করা এড়ানো যায় যতটা সম্ভব উচ্চ তাপমাত্রায় । উপরন্তু, পাইপলাইন বিছানায়, পাইপলাইনটি উচ্চ-বিশুদ্ধতা আর্গন বা নাইট্রোজেন দিয়ে পরিষ্কার করা হয় যাতে এই কণাগুলি অপসারণ করা যায় এবং এখনও পাইপে থাকে। যখন পাইপলাইন দীর্ঘ এবং জটিল হয়, যেমন পাইপলাইন, এটি কয়েক দিন থেকে কয়েক সপ্তাহ সময় নেয়। সম্প্রতি, একটি অর্ধপরিবাহী উৎপাদন কারখানা নির্মাণে খরচ কমানো এবং প্ল্যান্টের দ্রুত পরিচালনার জোরালো দাবি করা হয়েছে। এই প্রয়োজনীয়তাগুলি পূরণের জন্য, এখন পরিষ্কার করার সময়টি ছোট করা প্রয়োজন।
উপরোক্ত বৈশিষ্ট্যগুলি ছাড়াও, পাইপ এবং উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্যাস সদস্যদের dingালাই ক্ষমতা, যান্ত্রিক সীলগুলির জন্য প্রয়োজনীয় যৌথ এলাকা এবং প্রতিরোধের পরিধান প্রয়োজন; যখন জয়েন্টগুলির মতো অংশগুলি মেশিন করা হয়, ম্যাকের দুর্বলতা প্রয়োজন। অন্যদিকে, এটি জানা গেছে যে জারা প্রতিরোধের এবং অ-অনুঘটক বৈশিষ্ট্যযুক্ত বিশেষ গ্যাসগুলি, যা সেমিকন্ডাক্টর পাইপ বা অনুরূপ গ্যাস তৈরির জন্য প্রয়োজনীয়, স্টেইনলেস স্টিলের পৃষ্ঠকে এইভাবে গরম করে উন্নত করা যেতে পারে বায়ুমণ্ডল, অক্সিজেনের আংশিক চাপ নিয়ন্ত্রিত হয়। এটি লক্ষণীয় যে পাইপলাইনের বস্তুগত উপাদানটি এই সাহিত্যে SUS 316L স্টেইনলেস স্টিল হিসাবে রিপোর্ট করা হয়েছে।
উপরে উল্লিখিত প্রয়োজনীয় জারা প্রতিরোধের এবং অ-অনুঘটক কর্মক্ষমতা শুধুমাত্র গ্যাস পাইপলাইনের জন্য নয়। একই চাহিদা স্টেইনলেস স্টিলের তৈরি যা সেমিকন্ডাক্টর তৈরিতে বিভিন্ন যন্ত্রপাতিতে ব্যবহৃত হয়, যার মধ্যে একটি সূক্ষ্ম ওয়েফার প্রসেসিং রয়েছে। অস্টেনিটিক স্টেইনলেস স্টিল, বিশেষ করে, SUS 316L টাইপ প্রধানত পাইপ এবং অন্যান্য সরঞ্জাম সদস্যদের জন্য উপাদান হিসাবে ব্যবহৃত হয়। জাপানি কোকাই পেটেন্ট প্রকাশনা নং 161145/1988 পরিষ্কার রুমে ব্যবহৃত ইস্পাত পাইপের একটি অ-মানসম্মত উচ্চ-পরিষ্কার অস্টেনিটিক স্টেইনলেস স্টিল প্রকাশ করে। অ-ধাতব অন্তর্ভুক্তি ম্যাঙ্গানিজ, সিলিকন, অ্যালুমিনিয়াম এবং অক্সিজেনের পরিমাণ হ্রাস করে, যার ফলে পাইপলাইনের অভ্যন্তরীণ পৃষ্ঠ থেকে কণার উত্পাদন হ্রাস পায়।
উপরন্তু, জাপান পেটেন্ট প্রকাশনা নং 198463, 1989/প্রকাশ করেছে, যা সেমিকন্ডাক্টর তৈরির সরঞ্জামগুলির জন্য একটি স্টেইনলেস স্টিল সদস্য প্রকাশ করে। এই সদস্যরা স্টেইনলেস স্টিলের ইলেক্ট্রোকেমিক্যাল পলিশ করার পর গ্যাসকে জারণ করছে। নির্দিষ্ট অবস্থার অধীনে, 100 থেকে 500 অ্যাঙ্গস্ট্রোমের পুরুত্বের একটি অক্সাইড স্তর তৈরি হয় এবং এমনভাবে উত্তপ্ত হয় যে বাইরের অংশে Ni পরমাণুর সংখ্যা অনুপাত